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贝肯智能科技（苏州）有限公司

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镀膜机

184 184 184

产品名称： 伊圆 HVCP-2050

发布日期： 2018-10-22

点击数： 3044

二维码：

简述： HVCP-2050DA 是为了镀多层薄膜的高真空镀膜机, 主要用于 Mobile Phone Window Half Mirror coating, , AR&AF coating 以及 multi-layer optical coating。

产品详情

1. 概要及构成

 

HVCP-2050DA 是为了镀多层薄膜的高真空镀膜机, 主要用于 Mobile Phone Window Half Mirror coating, , AR&AF coating 以及 multi-layer optical coating。

 

这机械的主要的构成是如下.

 

1.1 真空室

1.2 低真空排气系统

1.3 高真空排气系统

1.4 蒸发源系统

1.5 离子源

1.6 多层薄膜控制用

1.7 真空控制计 及 Gas supply 系统

1.8 工件架加热用加热系统

1.9 工件架旋转系统

1.10  排气自动工程及监督用

1.11  镀膜工程自动控制及数据记录用的 HOPE 系统

1.12  空压及冷却水供应系统

 

2. 主要性能

 

2.1   极限真空度: 8.0E-7Torr (无基片/无加热) 12个小时以内

2.2   工作真空度: 2.0E-5Torr

2.3   漏率(Leak Rate): 2.0E-7Torr.m3/sec. 以下

2.4   工件架最大加热温度 : 150°C

 

工件架温度稳定度: 150°C ± 10 (3个点 - 上, 中, 下) 2.5 镀膜光学特性

 

Uniformity: 550nm ± 2%

 

3. 机械构成

 

3.1  真空组件

 

 

3.1.1

箱式前门开型.

1

SET

 

直径 2,050mm x 高度 1,680mm

 

 

 

材质-stainless steel SUS304

 

 

3.1.2

窗口 - 直径 150mm 强化玻璃

 

 

 

电子枪控制用 (安装黑色玻璃)

1

EA

 

观察基片旋转及镀膜状况确认用

2

EA

3.1.3

修正板

 

 

 

固定修正板

4

EA

 

可变修正板

1

EA

3.1.4

真空室内防污染板

 

 


 

 

 

基本安装用

1

SET

 

 

维持/保修用

1

SET

3.1.5

 

主要孔

 

 

 

 

泄气阀

1

EA

 

 

蒸发源(包括 RHS shutter port)

3

EA

 

 

电子枪-包括 E/B spare port

12

EA

 

 

离子源

4

EA

 

 

加热电源

2

EA

 

 

高真空计

1

EA

 

3.2  排气组件

 

 

3.2.1

高真空排气系统 (Hanil)

 

 

 

 

扩散泵DPM-28A

2

SET

 

 

油挡板和冷凝盘

2

SET

 

 

三星冷冻机

1

SET



3.3  镀膜基片及工件架旋转系统

 

 


3.3.2

 

工件架旋转系统

1

SET

 

旋转速度: 0~25 RPM (Max.)

 

 

 

按照工程旋转速度可以设定/可变

 

 

3.4  镀膜基片加热系统

 

 

3.4.1

加热方式: Halogen Heater 24kW (Bottom Heating 4kW x 6ea)

 

 

3.4.2   最高温度: 150oC

 

 

3.4.3   控制方式: PID (Proportion Integral Differential) / One point control

 

 

3.5  镀膜蒸发源

 

 

3.5.1

 

Electron Beam Source

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1)

 

Elecron Beam Power Supply 10kW

 

 

 

EB Source Power Supply / Arc suppressor

1

SET

2)

 

Electron Beam Source

 

 

 

Electron Beam Deflection 180°

1

SET

3)

 

Crucible Housing

1

EA

 

Crucible volume 25cc X 12 pockets

 

 

 

Crucible material: copper

 

 

 

Crucible housing index 内装置冷却水

 

 

4)

 

Electron Beam controller

1

SET

 

X, Y scan 及 position 可以自动/手动控制

 

 

 

Crucible housing 旋转可以自动/手动控制及可以选定特定的甘埚

 

 

 

为了自动程序 Scan position, emission rate, scan shape 可设定

 

 

 

包含Remote controller .

 

 

5)

 

Shutter Unit

1

EA

 

Shutter plate size: diameter 260mm

 

 

 

交换容易, mesh装着.

 

 

3.5.2

 

Thermal Source

1

SET

1)

 

Electrode

 

2

EA

 

使用 Transformer

 

 

 

使用 500mm / with shutter

 

 

3.6  Ion Beam Source System

1

SET

 

最大出力: 4kW

 

 

 

Anode Voltage: 4kW

 

 

 

Anode Current: 0~15A

 

 

 

Emisssion Current: 0~15A

 

 

 

Filament Current: 0~30A

 

 

3.6.1

Ion Beam Gun

1

EA


 

 

 

End-hall type, Ø0.8mm filament

 

 

 

3.6.2

 

Ion Beam Controller

1

EA

 

3.6.3

 

Gas Controller

1

EA

 

 

 

O  及 Ar 供应用 MFC (50sccm) 2ea

 

 

 

3.6.4

2

 

 

 

1

EA

 

 

Ion Beam Power Supply - 1ph, 220V, 4kW

 

3.7  镀膜薄膜控制计

 

 

 

3.7.1

 

Quartz Crystal Deposition Control - XTC/5S (Inficon)

1

SET

 

3.7.2

 

Quartz Crystal Sensor

1

SET

 

 

 

Single Sensor Head (water cooling jacket included)

 

 

 

3.8  真空测量系统及气体供应系统

 

 

 

 

 

Vacuum Measurement System (Leybold)

 

1

SET

 

 

 

Reading & Setpoint can be adjusted on PC

 

 

 

 

3.8.1

高真空测量 gauge - Penning (PTR90)  - 镀膜工程进行用

1

EA

 

 

 

(在工见架位置)

 

 

 

 

 

Max. measurement  range: 750 Torr

 

 

 

 

 

Min. measurement range: 3.75 x 10-9 Torr

 

 

 

3.8.2

低真空测量 gauge - Pirani (PSG500)

 

 

 

 

 

Max. measurement  range: 750 Torr

 

 

 

 

 

Min. measurement range: 3.75 x 10-4 Torr

 

 

 


3.9  Control Console


 

3.9.1

 

Console Frame (19" rack type)

 

 

 

3.9.2

 

Touch screen & PLC control (Auto / Manual control)

 

 

 

 

 

-自动真空排气

 

 

 

 

 

-工程进行Monitor

 

 

 


 

 

 

3.10 自动工程系统

 

 

 

3.10.1

 

Computer Set

1

SET

 

 

 

Core i3-4150 3.50GHz, HDD 500G, 17" TFT-LCD Monitor

 

 

 

3.10.2

 

Communication Module

1

SET

 

 

 

RS232 Expansion Card & Optical Fiber

 

 

 

3.10.3

 

HOPE Software

1

SET

 

 

预溶解, 镀膜蒸着工程自动化及自动记录数据

1

EA

 

3.12 机械颜色

 

Ivory

 

5. Utilities  (使用厂家准备事项)


 

5.1 电源

 

5.2 气压

5.3 冷却水


：380V, 3ph, 50Hz, 110kW (50mm2 X 4P)

 

E/Beam power supply 用电子式 AVR (220V, 3ph, 20kVA) ：6.0kg.f/cm2 以上, 100LPM, mist separator (SMC 2μ/m) 安装：温度. 18~25oC, Water Tank 400ℓ, 不冻液 3 gallons 添加

水歧管入口部 的水压得 3kg.f/cm2 以上

室外机一定在外部安装

 


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